以硅片為基礎(chǔ)，采用微機械加工技術(shù)與薄膜技術(shù)制成的熱式氣體質(zhì)量流量計傳感器的結(jié)構(gòu)、工作原理及其主要技術(shù)特點，以該傳感器為核心部件組成的質(zhì)量流量計與控制器的特點與應(yīng)用示例。

通常流量測量有體積與質(zhì)量計量兩種方式。體積流量計量往往受溫度、壓力等工況的變化而影響計量度。因此，要求計量的場合必須采用質(zhì)量流量計量。質(zhì)量流量計可分為推導(dǎo)式質(zhì)量流量計與直接式質(zhì)量流量計熱式氣體質(zhì)量流量計兩種。前者是在體積計量的基礎(chǔ)上進(jìn)行密度補償或者進(jìn)行溫度、壓力補償，并通過運算推導(dǎo)出質(zhì)量流量。

后者是基于傳感器測量原理消除溫度、壓力等的影響，從而直接獲得質(zhì)量流量，如科里奧利(Coriolis)質(zhì)量流量計、熱式質(zhì)量流量計等。前者適用于多種液體的質(zhì)量流量計量，后者則適用于各種氣體的微小流量的質(zhì)量計量。

熱式質(zhì)量流量計又稱量熱流量計。它是利用測量熱的傳遞、熱的轉(zhuǎn)移原理來求得質(zhì)量流量的儀表。該類儀表的基本原理幾乎相同，但傳感器的結(jié)構(gòu)與材料各有特色。本文將重點介紹株式會社山武的CMS與CMQ熱式氣體質(zhì)量流量計與控制器。